[CBC뉴스] 신성이엔지가 클린룸용 팬 필터 유닛(FFU)의 제어 효율을 높일 수 있는 핵심 기술 특허를 취득했다.

신성이엔지는 16일 '팬 필터, 팬 필터 유닛 집합체 및 그 제어방법(FAN FILTER UNIT, FAN FILTER UNIT ASSEMBLY AND CONTROL METHOD THEREOF)'에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 특허 등록일은 2026년 7월 16일이다.

이번 특허는 기존의 필터 차압뿐 아니라 팬 필터 유닛 하우징 상류와 필터 하류 사이의 기외정압을 함께 측정하는 기술이 핵심이다. 이를 통해 팬 필터 유닛 주변의 기류 상태를 보다 정확하고 신뢰성 있게 분석한다. 회사는 제어 효율 향상을 위한 기술이라고 설명했다.

회사는 이 기술을 활용해 클린룸 내부 다양한 위치의 기류 상태와 각 팬 필터 유닛의 필터 오염 상태를 검출할 수 있으며, 다수의 팬 필터 유닛을 그룹 단위로 보다 효율적으로 제어할 수 있다고 설명했다. 또한 듀얼 차압 측정 센서를 통해 존(Zone)별 기외정압을 실시간으로 모니터링해 현장 환경 개선과 기류 균일도 향상에도 활용할 수 있다고 밝혔다.

신성이엔지는 이번 기술을 통해 클린룸 내부 압력이 일정하지 않은 환경에서도 팬 필터 유닛의 풍속을 일정하게 유지할 수 있으며, 클린룸 기류 개선과 에너지 절감 효과를 기대하고 있다. 향후 해당 특허를 SMART FFU에 적용해 클린룸 상부에 활용할 계획이다.

한편 회사는 이번 공시의 사실확인일이 특허법인으로부터 특허수수료 납부 확인증을 접수한 날이라고 밝혔다.

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▮ CBC뉴스ㅣCBCNEWS 권오성 기자